Unterschied zwischen Diffusion und Ionenimplantation

Ionenimplantation und Diffusion sind zwei Techniken, die bei der Herstellung von Halbleitern mit einigen anderen Materialien verwendet werden. Der Hauptunterschied zwischen Ionenimplantation und Diffusion besteht darin, dass die Ionenimplantation isotrop und sehr gerichtet ist, während die Diffusion isotrop ist und eine laterale Diffusion vorliegt.

1. Warum die Ionenimplantation der Diffusion vorgezogen wird?
2. Was ist mit Ionenimplantation gemeint??
3. Was ist Ionenimplantation bei der IC-Herstellung??
4. Was sind die Vorteile der Ionenimplantationstechnik??
5. Warum nach der Ionenimplantation ein Tempern erforderlich ist?
6. Was ist Ionenimplantation und -diffusion??
7. Was bedeutet Ion??
8. Was ist ein Implantierer??
9. Was ist Ionenkanalisierung??
10. Was ist Flammhärten und Ionenimplantation??
11. Was enthält die Ionenquelle??
12. Wofür wird die Lithographie in der Halbleiterherstellung verwendet??

Warum die Ionenimplantation der Diffusion vorgezogen wird?

Wir haben gesehen, wie Dotierstoffe durch Diffusion ("Prädeposition" und "Drive-In") in einen Wafer eingebracht wurden. Die Ionenimplantation wird bevorzugt, weil: - eine kontrollierte, niedrige oder hohe Dosis eingeführt werden kann (1011 - 1018 cm & supmin; ²) - die Tiefe des Implantats kann gesteuert werden. Wird seit 1980 verwendet, trotz Substratschäden; geringer Durchsatz und niedrige Kosten.

Was ist mit Ionenimplantation gemeint??

Die Ionenimplantation ist ein Oberflächenbehandlungsprozess, bei dem Stickstoff- oder Kohlenstoffionen beschleunigt und dazu gebracht werden, die Oberfläche eines Bauteils zu durchdringen, um Verschleißfestigkeit zu verleihen. ... Mit diesem Ansatz kann ein hochenergetischer Ionenstrahl (50 bis 200 keV) auf die Bauteiloberfläche gerichtet werden.

Was ist Ionenimplantation bei der IC-Herstellung??

Die Ionenimplantation ist ein Niedertemperaturprozess, bei dem Ionen eines Elements in ein festes Target beschleunigt werden, wodurch die physikalischen, chemischen oder elektrischen Eigenschaften des Targets verändert werden. Die Ionenimplantation wird in der Herstellung von Halbleiterbauelementen und in der Metallveredelung sowie in der materialwissenschaftlichen Forschung eingesetzt.

Was sind die Vorteile der Ionenimplantationstechnik??

Die Vorteile der Ionenimplantation sind: Eine genaue Dosissteuerung ist durch Messung des Ionenstroms möglich. Die Tiefenverteilung der injizierten Dotierstoffe und die eingeführte Gitterstörung stehen in direktem Zusammenhang mit der Ionenenergie und den Massen des Zielmaterials und des Ions.

Warum nach der Ionenimplantation ein Tempern erforderlich ist?

Während der Implantation werden die implantierten Dotierstoffe in das Silizium bombardiert, und dieser Prozess erzeugt Punktdefekte innerhalb des Gitters. ... Der Glühzustand hat einen großen Einfluss auf ionenimplantierte Solarzellen, da sie die Aktivierung und das Diffusionsprofil der ionenimplantierten Dotierstoffe steuern.

Was ist Ionenimplantation und -diffusion??

Die Ionenimplantation ist ein grundlegender Prozess zur Herstellung von Mikrochips. Es ist ein Niedertemperaturprozess, der die Beschleunigung von Ionen eines bestimmten Elements in Richtung eines Ziels umfasst, wodurch die chemischen und physikalischen Eigenschaften des Ziels verändert werden. Diffusion kann als Bewegung von Verunreinigungen innerhalb einer Substanz definiert werden.

Was bedeutet Ion??

1: ein Atom oder eine Gruppe von Atomen, die eine positive oder negative elektrische Ladung tragen, weil sie ein oder mehrere Elektronen verloren oder gewonnen haben. 2: ein geladenes subatomares Teilchen (wie ein freies Elektron)

Was ist ein Implantierer??

n. (ĭm′plănt ′) Etwas Implantiertes, insbesondere ein chirurgisch implantiertes Gewebe oder Gerät: ein Zahnimplantat; ein subkutanes Implantat.

Was ist Ionenkanalisierung??

Der Einfluss des Kristallgitters auf die Trajektorien von Ionen, die in den Kristall eindringen, wird als Channeling bezeichnet - ein Begriff, der die Atomreihen und -ebenen als Leitfäden darstellt, die energetische Ionen entlang der Kanäle zwischen Reihen und Ebenen steuern.

Was ist Flammhärten und Ionenimplantation??

Beim Induktionshärten werden induzierte elektrische Ströme verwendet, um sehr schnell Wärme über Hysterese zu erzeugen, üblicherweise in einem Werkstück aus Stahl mit mittlerem bis hohem Kohlenstoffgehalt. Beim Flammhärten werden das Werkstück mit Sauerstoffbrennern über Wärmeleitung erwärmt.

Was enthält die Ionenquelle??

Eine Ionenquelle ist ein Gerät, das atomare und molekulare Ionen erzeugt. Ionenquellen werden verwendet, um Ionen für Massenspektrometer, optische Emissionsspektrometer, Teilchenbeschleuniger, Ionenimplantatoren und Ionenmotoren zu bilden.

Wofür wird die Lithographie in der Halbleiterherstellung verwendet??

Die Herstellung einer integrierten Schaltung (IC) erfordert eine Vielzahl von physikalischen und chemischen Prozessen, die auf einem Halbleitersubstrat (z. B. Silizium) durchgeführt werden. Das Wort Lithographie kommt von den griechischen Lithos, was Steine ​​bedeutet, und Graphia, was Schreiben bedeutet. ...