Radierung in vlsi

1. Was ist Ätzen in VLSI?
2. Was ist Ätzen und seine Arten?
3. Was ist mit Ätzprozess gemeint??
4. Was ist der Zweck des Ätzens??
5. Wie steuern Sie das Ätzen??
6. Was ist ein Plasmaätzprozess??
7. Welche zwei Techniken werden beim Ätzen verwendet??
8. Was ist der Unterschied zwischen Nassätzen und Trockenätzen??
9. Was ist der Unterschied zwischen Ätzen und Gravieren??
10. Wenn die Ätzselektivität hoch ist, bedeutet dies?
11. Was bedeutet Originalätzen??

Was ist Ätzen in VLSI?

Ätzen, um ein Muster auf einem Substrat zu erzeugen. Bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen bezieht sich das Ätzen auf jede Technologie, die selektiv Material von einem dünnen Film auf einem Substrat (mit oder ohne vorherige Strukturen auf seiner Oberfläche) entfernt und durch dieses Entfernen ein Muster dieses Materials auf dem Substrat erzeugt.

Was ist Ätzen und seine Arten?

Im Allgemeinen gibt es zwei Klassen von Ätzprozessen: Nassätzen, bei dem das Material beim Eintauchen in eine chemische Lösung gelöst wird. Trockenätzen, bei dem das Material unter Verwendung reaktiver Ionen oder eines Dampfphasenätzmittels gesputtert oder gelöst wird.

Was ist mit Ätzprozess gemeint??

Beim Ätzen wird traditionell mit starker Säure oder Beizmittel in die ungeschützten Teile einer Metalloberfläche geschnitten, um ein Tiefdruckmuster (eingeschnitten) im Metall zu erzeugen. ... Beim traditionellen reinen Ätzen wird eine Metallplatte (normalerweise aus Kupfer, Zink oder Stahl) mit einem säurebeständigen, wachsartigen Untergrund bedeckt.

Was ist der Zweck des Ätzens??

Das Ätzen wird verwendet, um die Mikrostruktur des Metalls durch selektiven chemischen Angriff freizulegen. Es entfernt auch die dünne, stark verformte Schicht, die beim Schleifen und Polieren entsteht. Bei Legierungen mit mehr als einer Phase erzeugt das Ätzen einen Kontrast zwischen verschiedenen Regionen durch Unterschiede in der Topographie oder im Reflexionsvermögen.

Wie steuern Sie das Ätzen??

Das nasschemische Ätzen ist isotrop und erzeugt abgerundete Seitenwand-Mikrokanäle. Die Form und der Winkel der Seitenwand können durch Aufbringen von Titan als Rückzugsmaske während des Nassätzens eingestellt werden (Abb. 1.5) (Pekas et al., 2010). Die Tiefe des Kanals wird durch die Ätzrate und die Ätzdauer gesteuert.

Was ist ein Plasmaätzprozess??

Das Plasmaätzen ist eine Form der Plasmaverarbeitung, die zur Herstellung integrierter Schaltkreise verwendet wird. ... Während des Prozesses erzeugt das Plasma bei Raumtemperatur flüchtige Ätzprodukte aus den chemischen Reaktionen zwischen den Elementen des geätzten Materials und den vom Plasma erzeugten reaktiven Spezies.

Welche zwei Techniken werden beim Ätzen verwendet??

Seitdem wurden viele Ätztechniken entwickelt, die häufig in Verbindung miteinander verwendet werden: Beim Ätzen mit weichem Untergrund wird ein nicht trocknender Resist oder Grund verwendet, um weichere Linien zu erzeugen. Beim Spucken wird Säure auf den Teller gestrichen oder gespritzt. offener Biss, in dem Bereiche der Platte Säure ausgesetzt sind, ohne ...

Was ist der Unterschied zwischen Nassätzen und Trockenätzen??

Trocken- und Nassätzen sind zwei Haupttypen von Ätzprozessen. Diese Verfahren sind nützlich zum Entfernen von Oberflächenmaterialien und zum Erzeugen von Mustern auf den Oberflächen. Der Hauptunterschied zwischen Trockenätzen und Nassätzen besteht darin, dass das Trockenätzen in einer flüssigen Phase erfolgt, während das Nassätzen in einer Plasmaphase erfolgt.

Was ist der Unterschied zwischen Ätzen und Gravieren??

Der Hauptunterschied zwischen ihnen besteht darin, dass das Gravieren ein physikalischer Prozess ist und das Ätzen ein chemischer Prozess. Ein Graveur schneidet mit scharfen Werkzeugen Linien direkt in eine Oberfläche, während ein Radierer Linien mit Säure in eine Oberfläche brennt.

Wenn die Ätzselektivität hoch ist, bedeutet dies?

Hohe Selektivität ist ein relativer Begriff, um zu beschreiben, wann zwei Materialien mit signifikant unterschiedlichen Ätzraten ätzen, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Oft bezieht es sich auf Fälle, in denen die Maske im Vergleich zu dem mit dem Ätzen strukturierten Material langsam ätzt.

Was bedeutet Originalätzen??

Radierung ist ein altes Medium und wurde im ersten Viertel des 16. Jahrhunderts in Deutschland perfektioniert. Das Bild für eine Radierung wird auf einer Metallplatte erstellt. ... Die Tinte wird von einer speziellen Ätzpresse gewaltsam auf das Papier übertragen. Wenn das Papier von der Platte entfernt wird, ist eine Originalätzung zu sehen.